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洁净室可以分为哪几类?各类洁净室的检测过程有什么区别?

上海室内环境检测中心       日期:2022-11-28      游览量:108
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       在洁净厂房设计规范中GB50073-2001中给洁净室的三种状态做了以下定义:

  a.空态 as-built

  设施已经建成,所有动力接通并运行,但无生产设备、材料及人员。

  b.静态 at-rest

  设施已经建成,生产设备已经安装,并按业主及工艺商同意的状态下运行,但无生产人员。

  c.动态 operational

  设施已规定的状态运行,有规定的人员在场,并在商定的状态下进行工作。

  在ISO14644中规定将洁净室检测阶段划分如下:

  空态洁净室的检测--Installation qualificafion(IQ)

  静态洁净室的检测--Operational qualificafion(OQ)

  动态洁净室的检测--Performance qualificafion(PQ)

洁净室1.jpeg

  (一)空态洁净室的检测(IQ)

  检查空态洁净室和安装的设备是否符合设计,至少要检查下列各点:

  1、洁净室设备的成套性;

  2、一切能源载体和工艺介质的供应(水、电、蒸汽、压缩空气、气体等)是否符合设计;

  3、公用和辅助设备功能运转是否正确;

  4、所以控制系统,监控器,报警和警报器等的检定(检查)日期;

  5、安装质量;

  6、安装过滤器(最终过滤器)的完整性;

  7、电源和设备是否有备份,其中包括空气处理设备的风量余量;

  8、压差;

  9、气流特性(单向气流--流速,均匀性和气流方向);

  10、维护结构的密闭性;

  11、检查循环空气与室外空气的比例是否符合设计;

  12、表面洁净度;

  13、包装中是否有备件。

  检查HEPA(ULPA)过滤器的完整性具有重要意义,此项检查对ISO6级、ISO5级及更高级别的洁净室来说尤其必要。应检查表面洁净度及维护结构的密闭性(对ISO1级~ISO5级的洁净室特别重要)。

洁净室2.jpeg

  (二)静态洁净室的检测(OQ)

  本阶段的检测至少应完成下列各项工作:

  1、确认洁净区划分原则是否符合要求;

  2、确定洁净室在经过污染水平升高后的自净时间参数;

  3、确定保持温度和相对湿度的稳定性;

  4、按粒子数确定洁净度级别;

  5、确定压差;

  6、在必要的场所应按粒子和微生物污染水平确定表面的洁净度;

  7、确定照度;

  8、确定噪声级;

  9、利用必要的工具目视检查气流并检查换气次数(必要时);

  10、将取得数据结果写成书面文件。

洁净室3.jpeg

  (三)动态洁净室的检测(PQ)

  为了评估动态洁净室工作的稳定性:

  1、验证洁净室分割制度;

  2、评估将温度和相对湿度保持在规定范围内的能力;

  3、按粒子数检查洁净度级别并确定空气中的微生物浓度(必要时);

  4、验证压差;

  5、按粒子数和微生物数量确定表面洁净度(必要时);

  6、检查洁净室运行文件的成套性,其中包括参数的检查方法,洁净室工作事故及采取的措施等,是否有基本的规程,如洁净室清扫、更衣、人员卫生等方面的规程等;

  7、检查人员是否经过培训,是否有培训体系和相应的文件;

  必要时还要检查振动强弱,空气电离程度,电磁场强度。可根据洁净室的特点改变测试的具体内容。

  在使用过程中,应对洁净室的参数进行日常监控,监控要有一定的周期性,洁净室用户可根据规范文件的要求确定这种周期性

  检测可在洁净室工作过程中进行(重复检测);


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