洁净室检测洁对于车间洁净度的测试一般应分为空载测试、动态测试和静态测试三种方法，分别测试洁净室的粉尘含量。
1.空态检测
是指洁净室系统已经正常运行，但工艺设备和生产人员尚未进入时进行的试验。
2.动态检测
是指在洁净室系统正常运行，工艺设备和生产人员工作的情况下进行的试验。
3.静态检测
表示车间系统已正常运行，工艺设备已安装但未运行，试验在室内无生产人员的情况下进行。
在净化工程的检测中主要关心两个粒径，即0.5um和5um。非等速采样对≤0.5um的颗粒影响不大。如果采样空气用于计算大于或等于0.5um的粒径浓度，如果这些颗粒不受非等速条件的影响，则计算结果不受影响。因此，洁净室区域的非等速采样仅对大于或等于0.5um的颗粒有意义。
108
